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      半導體電子設備

      LCS系列立式旋轉沖洗甩干機

      發(fā)布時間:2020-10-05 作者:魯超超聲 點擊:111次

      LCS系列立式旋轉沖洗甩干機(圖1)

       

       

      概述:

      本機是主要應用于太陽能電池和半導體硅片等的沖洗甩干工藝環(huán)節(jié),具有容量大、效率高的特點。

      主要特點:

      彩色液晶觸摸屏實時監(jiān)控,可存儲多種工藝菜單。

      腔體和轉架采用316不銹鋼,電化學拋光處理。

      去離子水電阻率監(jiān)控功能。

      無刷電機驅動

      氮氣溫度控制

      轉軸氮氣密封

      具有鎖蓋防護功能

      故障診斷、顯示、報警功能

      可提用戶特殊要求配置

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